题材
光刻机
异动列表
<<回到旧版
搜索
2025年12月
18
日
光刻机
·
2
个异动
据消息人士透露，深圳团队于 2025 年初完成了一台 EUV 光刻机的原型机，正在进行测试。
2024年09月
20
日
光刻机
·
3
个异动
中秋假期热议工信部2024年9月9日发文（9月2日成文），《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。其中提及氟化氩光刻机（晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm）
2024年09月
19
日
光刻机
·
3
个异动
假期热议工信部2024年9月9日发文（9月2日成文），《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。其中提及氟化氩光刻机（晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm）
2024年09月
18
日
光刻机
·
9
个异动
假期热议工信部2024年9月9日发文（9月2日成文），《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。其中提及氟化氩光刻机（晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm）
数据已全部加载