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光刻机
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2026年07月
28
日
光刻机(胶)
·
15
个异动
2026年7月27日据TheInformation报道，上海一家国资背景企业开始小批量产自主研发浸没式DUV光刻机，2026年约生产5台，2027年扩大到约20台。
2026年05月
20
日
光刻机
·
5
个异动
2026年5月20日网传，TSV 硅通孔技术虽无法直接突破 EUV 光刻机瓶颈，但通过先进封装路径，可实现3nm级性能等效突破，是现阶段我国弯道超车核心抓手。（未证实）
2025年12月
18
日
光刻机
·
2
个异动
据消息人士透露，深圳团队于 2025 年初完成了一台 EUV 光刻机的原型机，正在进行测试。
2024年09月
20
日
光刻机
·
3
个异动
中秋假期热议工信部2024年9月9日发文（9月2日成文），《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。其中提及氟化氩光刻机（晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm）
2024年09月
19
日
光刻机
·
3
个异动
假期热议工信部2024年9月9日发文（9月2日成文），《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。其中提及氟化氩光刻机（晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm）
2024年09月
18
日
光刻机
·
9
个异动
假期热议工信部2024年9月9日发文（9月2日成文），《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。其中提及氟化氩光刻机（晶圆直径：300mm；照明波长：193nm；分辨率≤65nm；套刻≤8nm）
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